| 日本ULVAC在提供各种真空设备的同时，还提供各种真空泵，真空计测，氦气质朴检漏仪等各种真空配套设备。同时提供优良的售后服务。低温泵也是优势产品之一。 |
| 型号 | UTM-50 | UTM-150 | UTM-300 | UTM-500 | UTM-1500 | |
| 入口法兰尺寸 | CF | CF114 | CF152 | CF203 | CF305 | |
| JIS VG | 65 | 100 | 150 | 250 | ||
| 出口法兰尺寸 | NW16 | NW25 | NW40 | JIS VF50 | ||
| 泵速度 | N2 | |||||
| 50 | 190 | 300 | 550 | 1600 |
| (l/s) (*1, *2) | H2 |
| 40 | 160 | 260 | 500 | 1650 |
| 压缩比 | N2 |
| 108 |
| ? |
| (*1, *3) | H2 |
| 103 |
| 104 |
| ? |
| 极限压力 | 10-7 | ||
| 10-8 |
| ? |
| (Pa) (*1, *3) | ||||||
| 轴承形式 | Top | Permanent magnet bearings | ||||
| Bottom | Pivot bearings | |||||
| 冷却方法 | Air-cooled/water-cooled | |||||
